精密隔振光学平台与气浮式自动平衡精密隔振光学平台的区别是什么_百度...

1、精密隔振光学平台作用是隔振，可能用的好的大理石的平台做的。研磨好的精度2：气浮式的自动平衡精密光学隔振台：应该是用气浮做隔振，或者加上主动振动电机来消除振动实现隔振。目前这种主动高频振动抵消振动的方式在很多高精密应用很火。

2、超精密气浮运动平台是光刻机的关键组成部分，其运动精度对光刻机的分辨率、速度和加速度有直接影响，进而影响生产效率。为实现大行程范围内的高加速、高速及高精度运动，平台通常采用粗精叠层结构。