请教镀膜机或RF轰击对膜层的影响

1、镀膜机RF源运用于高度控制的光学镀膜的离子束辅助沉积或离子束沉积。RF离子源首先使用156MHz高频信号激励电离子体，产生等离子体，然后分别抽出离子、电子，让其在空间内中和形成等离子体的高能离子源。

2、本人从事CVD时间不短，CVD沉积时用到的RF是156MHz，根本不会对身体造成影响，而且镀膜又是氧化硅氧化钛，没有特别剧毒的气体。反倒是PVD使用的超高频电压对身体影响很大。

3、绝缘薄膜可利用射频溅镀或反应溅镀。若采用直流电溅镀，将迅速造成表面电荷堆积而无法溅镀。i） 射频电溅镀（RF Sputtering）使用频率为156 MHz的射频电源，使靶材与镀层表面能被离子与电子交替的轰击，以避免电荷的堆积。

4、氩离子在电场的作用下加速轰击靶材，溅射出大量的靶材原子，呈中性的靶原子（或分子）沉积在衬底上形成薄膜。

5、第二个是延长除气的时间，因为工件里存有某些气体或水分，除气的目的就是把这些在镀膜前排出，以免降低了真空镀膜机内的真空度，真空度不够高也是会影响膜层的质量的。

6、因此有机镜片在镀减反射膜前必须要镀抗磨损膜，而且两种膜层的硬度必须相匹配。 减反射膜 （1）为什么需要镀减反射膜？ 1）镜面反射 光线通过镜片的前后表面时，不但会产生折射，还会产生反射。这种在镜片前表面产生的反射光会使别人看戴镜者眼睛时，看到的却是镜片表面一片白光。

离子溅射仪【喷金仪】

离子溅射仪，通常也被称作喷金仪，是一种通过离子溅射技术进行镀膜的精密设备。其主要构造包括离子源、加速器、靶材、基底和真空系统。离子溅射的原理是利用高能离子轰击固体表面，使原子脱离并形成均匀的镀层。辉光放电是这一过程的基础，它在特定真空度和高压条件下发生。

离子溅射仪，一个精密的喷金利器，其核心在于利用离子的力量在基底上绘制出细致的薄膜。这款装置由离子源、加速器、精心挑选的靶材、稳定的基底以及精准的真空系统组成，每一环节都是薄膜制作过程中的关键步骤。其工作原理在于高速离子如箭矢般冲击固体表面，触发溅射现象。

分钟。sem扫描电镜喷金是一种动态观察和分析材料微观变形形貌及断裂机制的手段，喷金处理需要5分钟，在材料科学研究中发挥了重要作用。为了获得更好的扫描电镜图像，扫描电镜有必要结合喷金仪（离子溅射仪）使用。

在颗粒旁放一钢片尺作参照物就可确定扫描电镜图像中的颗粒粒径。取一滴放在20ml高级醇溶剂中，充分搅匀后取一小滴在负载6和6mm被刻蚀过的盖玻片的样品台座上，真空抽干后立即用离子溅射镀膜仪喷金后待用。

河南平原光学电子仪器厂产品与服务

河南平原光学电子仪器厂是一家集精密光学、精密机械、热（表面）处理、光电器件、装配调试、精密铸造和小模数齿轮加工于一体的综合性制造企业。该厂拥有七个制造部门，包括四个军民两用分公司和十四个控股参股子公司，员工总数达到4000人，其中专业技术人员占比约为275%。

河南平原光学电子仪器厂正在积极转型，遵循现代企业制度，注重技术改造，以提升其企业的创新能力和抵御市场风险的能力。公司正在通过产品结构调整和产业升级，利用高新技术对传统业务进行革新，致力于发展军民两用技术和高技术产业，打造以小核心、大协作、哑铃型、柔性化的科研生产能力为特点的现代化企业。

河南平原光电有限公司的统一社会信用代码/注册号是91410000757134895L，企业法人郭海星，目前企业处于开业状态。河南平原光电有限公司的经营范围是：火控系统、制导产品、光电产品、机电产品、夜视仪器、信息及通讯设备、环保产品的开发、设计、制造、销售及技术服务；住宿、餐饮、房屋租赁（限分支机构凭证经营）。